KURASHIKI仓敷化工 EST-A6 主动除振单元（空压控制型）

产品概述

仓敷化工EST-A6属于Type-A空压式主动除振单元，搭载空气弹簧+主动反馈控制系统，区别于EST-A8被动款。依靠气压驱动+传感器实时检测振动，自动修正姿态与振动，适合中小型精密设备，半导体检测、光学干涉仪、精密探针台等对微振动要求严苛的场景。整套系统由除振单元本体、数字控制器、洁净压缩空气气源组成。

核心规格

• 型号：EST-A6（空压控制主动除振单元）

• 型式：空气弹簧式主动隔振，6自由度主动反馈控制

• 单单元适用载荷：80～230kg

• 固有频率：主动控制下可抑制至接近1Hz级别，消除共振峰

• 控制方式：加速度传感器实时采集振动信号，气压伺服主动补偿

• 供气压力：0.4～0.6MPa，低耗气量，小型空压机即可配套

• 调平功能：自动调平，设备负载变化时自动维持设定高度与水平

• 外形底座：160×160mm，上下法兰预留安装螺纹孔

• 主体材质：增强橡胶空气囊、铝合金安装底座

• 工作温度：5℃～40℃；储存温度：-10℃～50℃

• 单单元自重：约3.2kg

• 配套：独立数字控制器，支持振动状态监控、参数保存

产品特点

1. 空压主动控制，相比被动除振单元，可主动抵消地面传入的低频振动，共振区域无放大，隔振性能远优于EST-A8被动款。

2. 自动调平功能，设备载荷变动、重心偏移时，系统自动调节各单元气压，维持平台水平。

3. 6自由度振动控制，同时管控垂直、水平多方向微振动，满足纳米级精密检测设备需求。

4. 耗气量小，无需大流量空压机，配套气源成本低；气囊耐老化，适配洁净室环境。

5. 模块化单元设计，常规设备4点支撑组合使用，可灵活搭建不同尺寸除振平台。

6. 控制器可实时监测振动波形，支持参数存储，方便设备调试与品质记录。

工作原理

单元内置空气弹簧、加速度传感器与气压伺服阀。传感器持续采集上部设备的振动信号，传输至数字控制器；控制器计算补偿量，实时调节空气弹簧内部气压，产生反向抵消力，抑制地面振动向上传递。空气弹簧承担静态承重，伺服气压系统实现动态主动除振，同时自动维持平台高度与水平姿态。

使用要点

1. 整套系统由4个EST-A6单元+1台控制器组成，4点支撑，需尽量均分载荷，重心尽量落在四点中心区域。

2. 压缩空气必须前置空气过滤器、减压阀、干燥器，除去水分、油污，防止气囊老化、伺服阀故障。

3. 供电需稳定，控制器避免与大功率电机、变频器共用同一路电源，防止电气噪声干扰。

4. 环境温度保持5~40℃，高温会加速橡胶气囊老化；远离强磁场、冲击载荷。

5. 载荷不可低于80kg下限或超过230kg上限，超出范围会造成主动控制性能下降。

6. 安装完成后执行初始自整定，控制器自动识别系统特性，优化控制参数。

EST-A系列对比

• EST-A6：主动空压型，单只80~230kg，自动调平，6自由度主动抑制

• EST-A8：被动空气弹簧，单只20~80kg，无控制器，仅被动缓冲

• EST-A11：主动空压型，更高载荷版本，单只190~550kg

单行精简参数：EST-A6空压控制主动除振单元，单只载荷80230kg，6自由度主动振动补偿，带自动调平，工作温度540℃。