KURASHIKI仓敷化工 PST-314D 万向节活塞减振器（外置阻尼型被动除振单元）

产品概述

仓敷化工PST-314D属于PST-D系列膜片式万向（万向节）活塞空气弹簧被动除振单元，带外置阻尼器，为大载荷精密设备开发。搭载经典球形万向节活塞结构，垂直、水平双向低固有频率，专门用于重型光学平台、大型半导体检测设备、精密光刻机配套平台等重载精密仪器。标准采用4只单元组合支撑整套设备。

核心规格

• 型号：PST-314D，万向节活塞式空气弹簧，外置阻尼标配

• 4脚组合总承载上限：12000kg；单只单元承载570～1500kg

• 固有频率：垂直1.8～2.5Hz；水平1.5～2.0Hz

• 供气压力：0.4～0.7MPa

• 外形尺寸：400×400mm

• 调平方式：自动水平调节阀，水平调节精度±0.05mm以内

• 阻尼配置：外置阻尼器为标准配置，快速衰减扰动余振

• 主体结构：橡胶隔膜+铝合金本体+球形万向节活塞

• 工作温度：5℃～40℃；储存温度：-10℃～50℃

• 特性：洁净室低发尘设计，可应对设备滑台移动带来的重心变化

产品特点

1. 万向节球形活塞结构，水平方向刚度低，垂直与水平均可实现低固有频率，水平隔振性能优异。

2. 标配外置阻尼器，对比PST-300基础系列，受冲击、滑台移动扰动后，平台晃动收敛速度大幅提升，适合重心会变动的大型精密平台。

3. 内置大容量辅助供气阀，负载变动时快速充排气，迅速恢复水平姿态。

4. 被动式结构，无需传感器与控制器，仅接入洁净压缩空气，系统稳定，维护简单。

5. 低发尘隔膜构造，适配半导体、光学无尘车间环境。

6. 自动水平阀，负载变化可自动维持平台高度，减少人工调平工作量。

工作原理

压缩空气充入橡胶隔膜空气腔，依靠气体弹性承担设备静载荷。球形万向节活塞允许水平方向相对滑移，降低水平方向刚度，实现水平低频隔振。地面产生的振动传入单元，空气弹簧缓冲垂直振动，万向活塞结构隔离水平振动；配套外置阻尼器消耗振动能量，抑制共振峰值，快速吸收冲击扰动，阻断地面微振动传递至上方精密设备。属于被动隔振，无主动反馈控制。

使用要点

1. 整套系统采用4点支撑，尽量均分载荷，设备重心落在四点中心区域，降低偏载。

2. 气源必须配套过滤器、减压阀、干燥器，去除压缩空气的水分、油污，防止隔膜老化、阀件故障。

3. 供气压力维持0.4~0.7MPa；压力不足会抬高固有频率，降低隔振效果。

4. 适合大型平台、带线性滑台的设备；滑台移动造成重心偏移时，辅助供气阀快速补偿，维持水平。

5. 环境温度控制5~40℃，高温会加速橡胶隔膜老化。

6. 远离大功率电机、冲击载荷，外部强冲击仍会造成平台短暂晃动。